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[IT뉴스]세메스, 반도체 고온 매엽인산 세정장비 개발

온카뱅크관리자

2024-05-07 15:38:38

<div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div>  <strong class="summary_view" data-translation="true">'블루아이스 프라임' 불순물 제거율 90% 이상 향상</strong> 
        <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> 
         <section dmcf-sid="Ya64vO7vUS">
          <p dmcf-pid="Gi2KID3I0l" dmcf-ptype="general">(지디넷코리아=이나리 기자)삼성전자 자회사 반도체 장비업체 세메스가 반도체 제조용 고온 매엽인산 세정장비 '블루아이스 프라임'을 신규 개발했다고 7일 밝혔다.</p>
          <p dmcf-pid="H8p3ALWA3h" dmcf-ptype="general">매엽식 인산 공정은 웨이퍼 상부에 170℃ 이상의 고온 인산(H3PO4)을 토출해 패턴면을 처리하는데 있어 식각 균일도 및 불순물 제거 기술확보가 어려워 많은 기업들이 개발에 어려움을 겪은 장비다. </p>
          <figure class="figure_frm origin_fig" dmcf-pid="XthI8KA8pC" dmcf-ptype="figure">
           <p class="link_figure"><img alt="세메스 고온매엽인산 블루아이스 프라임 설비(사진=세메스)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202405/07/ZDNetKorea/20240507153841228rkxp.jpg" data-org-width="640" dmcf-mid="WDhI8KA8Fv" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202405/07/ZDNetKorea/20240507153841228rkxp.jpg" width="658"></p>
           <figcaption class="txt_caption default_figure">
            세메스 고온매엽인산 블루아이스 프라임 설비(사진=세메스)
           </figcaption>
          </figure>
          <p dmcf-pid="ZhNgp5xpuI" dmcf-ptype="general">반면, 세메스는 자체 개발한 척(Chuck)을 장착해 웨이퍼를 고온으로 히팅해 웨이퍼 중앙과 가장자리의 온도 균일도를 높이는 데 성공했다. 또 기존 배치타입 습식 세정방식의 한계로 지적됐던 불순물 제거율을 90% 이상 향상시켜 매엽식 인산 공정의 기술적 차별화를 이뤘다. </p>
          <p dmcf-pid="5UyvM4wMzO" dmcf-ptype="general">세메스는 "작업과정에서 발생하는 오폐수를 최소화하기 위해 케미컬 리사이클링 기술 개발로 90% 이상의 케미컬 재사용이 가능하다"며 "최근 수요업체에서 요구하는 친환경 그린팹 설비로 제작됐다"고 밝혔다.</p>
          <p dmcf-pid="11CO4bj47s" dmcf-ptype="general">정태경 세메스 대표는 "현재 고온 매엽인산 기술은 산자부 국가 첨단기술 및 제품으로 등록됐다"라며 "앞으로 다양한 반도체 공정기술이 융복합화된 신제품 개발을 통해 매출확대 뿐만 아니라, 친환경 설비경쟁력을 확보해 나갈 방침이다"고 전했다.</p>
          <p dmcf-pid="tbZHnMCn0m" dmcf-ptype="general">한편, 세메스는 2014년 세계 최초로 반도체 초임계 세정장비를 개발해 국가 핵심기술로 지정된 바 있다.</p>
          <p dmcf-pid="FMq7wjZw7r" dmcf-ptype="general">이나리 기자(narilee@zdnet.co.kr)</p>
         </section> 
        </div> 
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