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[IT뉴스][과기원NOW] UNIST, 차세대 극자외선 노광 소재 감도 높일 설계 기술 개발 外

온카뱅크관리자

2026-09-21 23:47:25

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        <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> 
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          <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="988a50386770048bc2fcb0187ff0fcdfa74c6bd5b56f112ad3f2359aeee38ff7" dmcf-pid="XbfDYKpXJa" dmcf-ptype="figure">
           <p class="link_figure"><img alt="차세대 반도체 소재의 감도를 높여 더 정밀한 회로를 만드는 기술이 개발됐다. 게티이미지뱅크 제공" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202609/21/dongascience/20260921233938538jecg.jpg" data-org-width="680" dmcf-mid="GoA59gRfij" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202609/21/dongascience/20260921233938538jecg.jpg" width="658"></p>
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            차세대 반도체 소재의 감도를 높여 더 정밀한 회로를 만드는 기술이 개발됐다. 게티이미지뱅크 제공
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          <p contents-hash="411923a7de3deda4a7e689292907e2dc0c41580322da77d3787006f4a1eb4e80" dmcf-pid="ZK4wG9UZJg" dmcf-ptype="general">■ 울산과학기술원(UNIST)은 장지현 에너지화학공학과 교수팀이 주석계 포토레지스트의 감도와 정밀도를 조절하는 기술을 개발했다고 21일 밝혔다. 연구결과는 국제학술지 '스몰' 8월 25일자에 발표됐다. 포토레지스트는 반도체 노광 공정에서 빛에 반응해 회로 모양을 만드는 물질이다. 연구팀이 개발한 설계 기술은 포토레지스트의 리간드 물질을 바꿔 주석 원자가 몇 개씩 모이는지를 조절함으로써 감광제의 감도와 정밀도를 바꾸는 기술이다. 감도가 높으면 회로를 빠르게, 정밀도가 높으면 더 반듯한 회로를 새길 수 있다. 장지현 교수는 “이번 연구는 주석 함량뿐 아니라 리간드의 성질이 감도와 패턴 정밀도를 좌우한다는 점을 밝혔다”며 “공정 요구에 맞는 차세대 극자외선 포토레지스트를 개발하는 설계 기준으로 활용될 것”이라고 설명했다.</p>
          <p contents-hash="303d1ab5d48c0fd01ccf5bd38f0fc5d458c3871728c2cf8f8b5c11841b402e24" dmcf-pid="5Rnyue4qMo" dmcf-ptype="general">■ 포스텍은 노준석 교수와 김철홍 교수 공동연구팀이 전압만으로 초점을 전환해 넓은 깊이 범위를 고해상도로 촬영하는 '이중 초점 메타렌즈 광음향 현미경'을 개발했다고 21일 밝혔다. 연구결과는 국제학술지 '라이트: 사이언스앤 어플리케이션' 9월 4일자에 발표됐다. ‘광음향 현미경’은 레이저(빛)를 쏜 뒤, 혈관 같은 조직이 빛을 흡수하며 내는 미세한 초음파로 영상을 만드는 기술이다. 연구팀은 '메타렌즈'와 '액정 셀' 두 부품을 조합해 빛의 성질 자체를 조종해 광음향 현미경 해상도를 높였다. 연구팀은 자체 개발한 광음향 현미경으로 각막에 화상을 입은 쥐의 눈을 살아 있는 상태 그대로 촬영했다. 얕은 초점에서는 각막에 새로 자라난 신생혈관이, 깊은 초점에서는 약 2.2mm 깊이에 있는 홍채 주변 혈관이 선명하게 잡혔다. 부품을 전혀 움직이지 않고 전압만으로, 서로 다른 깊이의 눈 속 혈관을 골라 가며 고해상도로 담아낸 것이다. 연구팀이 개발한 이 기술은 안과 질환 진단에서 힘을 발휘할 것으로 기대된다.</p>
          <p contents-hash="711a830ac47e2e0d4bef620e3e0fb6addeb2978c90792345b89e06899cfd0f4c" dmcf-pid="1eLW7d8BLL" dmcf-ptype="general">■ KAIST는 이재길 전산학부 교수팀이 기기의 소형 인공지능(AI)과 서버의 대형 AI를 효율적으로 연결하는 기기-서버 협업 기술 ‘큐어(CURE)’를 개발했다고 21일 밝혔다. 연구결과는 국제학술대회 '유럽컴퓨터비전학회'에서 10일 발표됐다. 스마트폰과 같은 기기는 계산 능력과 메모리가 제한돼 가벼운 소형 AI 모델을 주로 사용한다. 복잡하거나 낯선 이미지를 구분할 때 정확도를 높이기 위해 기기의 소형 AI가 먼저 판단하고 어려운 문제만 서버로 보내는 방식의 모델이 연구된다. CURE는 먼저 기기의 소형 AI가 입력을 스스로 처리할 수 있는지 판단한다. 해결하기 어렵다면 기기에 저장된 서버 지식을 활용하고, 저장된 지식으로도 부족할 때만 서버에 도움을 요청한다. 이를 통해 소형 AI가 서버가 알려준 답을 일회성으로 사용하지 않고 기기가 이후에도 활용할 수 있는 지식으로 축적한다. CURE의 처리 속도는 기존 기기-서버 협업 방식보다 최대 2.8배 빨랐으며, 모든 입력을 서버로 보내는 방식보다 최대 3.67배 빨랐다. 서버에 묻는 횟수를 줄여 데이터를 주고받고 답을 기다리는 시간을 단축한 결과다.</p>
          <p contents-hash="8ce046ce8fa9c8d470505d7b7c5ede15b8c6ae782d2f3b2848fcd781565d2bd2" dmcf-pid="tdoYzJ6bnn" dmcf-ptype="general">■ 대구경북과학기술원(DGIST)는 교내 창업 전담 조직인 혁신창업원 출범을 기념해 지난 8일부터 18일까지 2주간 교내 일원에서 개최한 ‘2026 DGIST 창업주간’ 행사를 성황리에 마무리했다고 21일 밝혔다. 이번 창업주간은 DGIST의 창업 지원 기능을 총괄하는 혁신창업원이 선보인 첫 대규모 행사다. 행사의 핵심 프로그램인 ‘명사 릴레이 특강’에는 이덕준 D3쥬빌리파트너스 대표, 이승주 오름테라퓨틱스 대표, 권도균 프라이머 대표, 김효이 이너시아 대표, 엄윤미 아산나눔재단 이사장, 김세웅 카카오 부사장, 한상우 이스트 벤처스 파트너 등 국내외 벤처투자자와 창업가 7인이 연사로 나섰다. 해동창의마루 앞에서는 학생 창업팀들의 눈부신 성과를 엿볼 수 있는 전시도 함께 열렸다. </p>
          <p contents-hash="a8b19401ec6c75ae2f8193e4ef084fa24681e91d1aaf39267f60b92c200faf6f" dmcf-pid="FJgGqiPKni" dmcf-ptype="general"> &lt;참고자료&gt;<br> doi: 10.1002/smll.75331<br> doi: 10.1038/s41377-026-02365-8<br> doi: 10.1007/978-3-032-37627-5_2<br>  </p>
          <p contents-hash="6c6214a347cdce7689fa7889dc1e12dfd12351234e53c72d41d48cde822cfbd5" dmcf-pid="3iaHBnQ9LJ" dmcf-ptype="general">[김소연 기자 lecia@donga.com]</p>
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        <p class="" data-translation="true">Copyright © 동아사이언스. 무단전재 및 재배포 금지.</p>

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